研磨関連製品

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研磨用部材

ガラス研磨工程に使用する台座や緩衝材などの部材です。
超大型部材にもかかわらず高い平坦性や接着の均一性を達成するため、当社の保有する日本最大級のプレスで製作が可能な超大型部材や接着力を緻密に制御し消耗部分を簡単に交換可能で半永久的に使用できるリサイクル精密研磨部材などでご要望にあわせ、ご提供いたします。

リサイクル精密研磨部材ではすでに5年以上にわたり使用しているものも有り、ユーザーのコストダウンに貢献しています。

研磨パッド

長年の樹脂加工技術を駆使し、樹脂含浸をミクロン単位で制御することで可能となる驚異的な研削力を有する研磨パッドです。高平坦性や高研磨レートなど一般的に求められる機能を有した一連の既成品を販売するのではなく、顧客やユーザーの研磨条件に最良にマッチングする研磨パッドを制作しています。

同じ素材に同じ樹脂を同じ量入れても、樹脂構造をミクロン単位に制御することにより研磨性能は大きく変わります。SiC、GaNなど従来の技術では加工が難しい次世代デバイス基盤にも対応いたします。

2014年11月19日(水)・20日(木)に、名古屋・ウインクあいちにて開催されました、「応用物理学会 先進パワー半導体分科会」の説明資料はこちら

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